塗布・洗浄装置
各種塗布・洗浄装置を取り揃えております。
・スプレーコーター
・実験用ロールコーター/ロールプレス
・自動洗浄装置
・マスク洗浄装置
・メッキ装置
製品一覧
スプレーコーター |
各種溶剤に対応しスプレーコーティングを行う装置です。 実験機により、コーティング条件の最適化を行い用途に合わせ装置を設計いたします。 各種基板・サイズに対応 ・ガラス、フィルム、Siウエハ 等に対応 高粘度溶剤に対応 ・最大1000CPSに対応 |
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| 実験用ロールコーター/ ロールプレス |
お客様のニーズに合わせ設計製造致します。 塗布ヘッド：ダイヘッド・グラビアヘッド・ナイフコータヘッド ワーク幅 ：100ｍｍ～450ｍｍ ワーク ：フィルム・金属箔 用途 ：リチウムイオン電池・透明導電膜・バリア膜・ハードコート膜 *装置導入前のご検討などに、レンタルラボをご提供致します。 |
| 真空（減圧） 洗浄＆乾燥装置  |
薬液処理（エッチング／洗浄）後、真空チャンバー内でリンス～スピン乾燥をするため低速回転で乾燥ができます。 薄板やMEMSなど脆性ウエハーにダメージを与えずに洗浄～乾燥が可能です。 ＜特許取得済＞ ※大型基板にも対応可能です。 |
| 真空（減圧） スピンドライヤー  |
バッチ式のスピンドライヤー型真空乾燥装置です。 真空チャンバー内のスピンドライにより、低速回転で低ストレスな乾燥ができます。 薄板ウエーハや、MEMSウエーハなどの構造物を持つ脆性ウエーハにダメージを与えることが無く、リンスから乾燥が可能です。 ＜特許取得済＞ ※各種基板に対応致します。 |
自動洗浄装置 |
冶具洗浄装置（酸/有機溶剤対応）/ レジスト剥離装置（酸/有機溶剤対応）/ リストオフ洗浄装置/エッチング装置/ 現像装置/異物除去装置/ 超音波洗浄装置/マスク洗浄装置 *お客様のニーズに合わせ設計製造致します。 |
マスク洗浄装置 |
各種マスクを自動搬送システムにて洗浄基盤1枚からカセット単位で 手動・自動処理可能です。 お役様のニーズに合わせ設計製造致します。 |
メッキ装置 |
水平ディップ方式採用の全自動電解めっき装置 ・水平ディップﾟ方式により高品位の薄膜めっき膜を提供 ・高アスペクトﾄ比10での実績有り ・お客様のニーズに合わせた個別設計に対応 ・半導体、GMRヘッドﾞ用に多くの納入実績あり |